氟氮混淆气的生产历程较量重大,工艺手艺难度大,且由于氟气是强氧化剂,生产历程中对情形、装备、控制、安防的要求较高,氟氮混淆气生产分为氟气提纯和混淆充装两个办法。
氟氮混淆气应用规模和远景极其辽阔,是原子能工业、含氟电子特气、氟化石墨、多种氟化物、医药中心体等的质料。同时照旧一些特殊质料外貌改性的理想质料。
作为当今理想的蚀刻气体之一且氟气不会造成温室效应,被应用于集成电路和种种电子元器件的生产,半导体制造工艺中CVD腔室的洗濯,在半导体领域极具市场潜力。
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